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クレンリネス・チェーン

半導体製造では、原材料の選定から取り付けた部品の最終検査に至るまで、全サプライヤーのプロセスが最高レベルのクレンリネス(清浄度)で、かつコンタミネーションの無い状態で行われることが求められます。

クレンリネス・チェーン

スウェージロックの違い

クレンリネス維持のため、スウェージロック社は超高純度用の材料、製造工程、クリーニング仕様、品質管理手順のすべてにこだわっています。だからこそ、安心して使用できる製品を生み出すことが可能なのです。

クリーンな製造の実現に向けて

成功への道のりは短くなりました。スウェージロックは、高純度用製品を提供することで、クリーンな製造を実現します。なお、提供するのは製品だけではありません。お客さまに合わせたソリューションも提案します。お客さまの作業環境はもちろん、腐食性、再現性およびスループットの必要性、コンタミネーションの排除など、さまざまな要因も考慮しています。当社が開発した ALDバルブ のような革新的な製品をお使いいただくことで、半導体部品の製造効率を向上させることが可能になります。当社の品質に対するこだわりが、スピード、一貫性、クレンリネスの維持を実現しているのです。

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設計

半導体の製造 において欠かせないのは、高い歩留まりとスループット、それに最大限のクレンリネスと信頼性です。これを実現すべく、スウェージロックは高いクレンリネス基準に従って製造した画期的な製品を、お客さまのアプリケーションに合わせてカスタマイズして提供しています。

  • 内面を滑らかに仕上げることで、パーティクルの混入や材料のコンタミネーションなどのリスクを低減
  • 画期的な設計により、たまりが生じるエリアを削減し、迅速なパージを実現し、高サイクルのアプリケーションにおける応力を低減

これだけではありません。ファブから完成品まで、高純度/超高純度アプリケーション向けのサポートで、製品をバックアップしています。

アイデアから取り付けまで

優れた製品をさらに改良するには、どうすればよいでしょうか?カスタマイズすることで、正確に要件に合わせることが可能です。

お客さまのニーズに合わせた製品(ETOP)

スウェージロックは、どの製品がお客さまのアプリケーションに適しているかを理解しています。スウェージロックの設計専門スタッフは、アプリケーションの要求に合わせて製品をカスタマイズし、製造およびテストを行い、保証を付けて出荷します。

設計/組み立てサービス

スウェージロックは、製品に加えて、お客さまのアイディアと当社が培ってきた専門知識を組み合わせてカスタマイズしたソリューションを提供します。製品と同様、ソリューションにもSwagelokリミティッド・ライフタイム保証が付いています。

サポートとサービス

スウェージロックは、継続的なテクニカル・サポートとフィールド・エンジニアリング・サービスを通じて、必要なときにプロセスの正確なオペレーションを実現するべくサポートします。スウェージロックの流体システム評価/アドバイス・サービスでは、スウェージロックのフィールド・エンジニアが技術的な専門知識、アプリケーション経験、業界に関する知識を駆使し、流体システムから最大のパフォーマンスを引き出すべくサポートします。現地の専門スタッフは、スウェージロックによる認定を取得しており、オペレーションのパフォーマンス向上、コストおよび労働時間の削減、安全性・品質・環境に対するリスク緩和をサポートします。

純度

スウェージロックの超高純度ソリューションによって、クリーンかつ信頼性の高い切り替えおよび優れた温度コントロールを実現することで、コンタミネーションを防止し、システムの信頼性を高めることができます。

材料オプション

スウェージロックが使用している材料は、科学に裏打ちされています。適切な成分を配合して試験を行い、半導体製造などの高純度アプリケーションで実績がある材料を使用しています。バー・ストックからフルオロポリマーまで、材料の特性が、必要な結果を達成する鍵を握っています。スウェージロックは、製造プロセスに適した材料を慎重に選定することで、溶接や取り付けが容易で、かつアプリケーションに必要な純度を満たす材料を提供します。

製造

スウェージロックの部品は、一貫した品質、超高純度、耐食性、溶接性を備えています。材料の選定からスタートし、厳格かつ高度に制御された製造プロセスでは、耐食性を高めるための表面処理を行い、コンタミネーションを最小限に抑えるべく表面欠陥を除去しています。

スウェージロックが使用する材料は、電解研磨を行い、不動態化処理で仕上げを行っています。

電解研磨

ガス供給システムに使用するチューブの内面を滑らかにする際は、電解研磨が欠かせません。電解研磨とは、金属の不純物を取り除き、表面欠陥を除去してクリーンな表面に仕上げる電気化学プロセスです。このプロセスでは、機械研磨のように研磨剤が表面に残存することがないため、半導体アプリケーションに適しています。

不動態化処理

不動態化処理を行うことで、クロムを多く含む不動態酸化膜が形成されるため、表面の清浄度を高め、材料の耐食性を向上させることができます。

クリーニング/パッケージング

スウェージロックは、超高純度製造へのこだわりをもって製品を提供しています。超高純度業界に特有の清浄度要件を理解し、業界標準を満たす、あるいはそれを上回るべくサポートします。

スループットと再現性

スループットとは、より多くの材料を、より迅速に、かつ少ないダウンタイムで製造システムに供給することを意味します。再現性とは、製造する製品が常に同じ品質であることを意味します。スウェージロック製品を、高純度アプリケーションに対する適合性に基づいて選定することで、2つの利点を得ることが可能です。スウェージロックが提供しているALDバルブのような画期的な製品を使用することで、半導体製造の効率を向上させることができます。

  • 強度と耐食性に優れたコバルト基超合金(UNS R30003)
  • 非常に優れたサイクル・ライフを実現する設計(特許申請中)
  • 高速で繰り返し作動可能
  • サーマル・イマージョン(熱浸漬)用に最適
  • バルブのオープンまたはクローズに要する時間は5 ms未満

品質、信頼性、安全性

スウェージロックは、品質と信頼性を追求し続けており、製品の耐久性を高めているため、交換頻度を抑えることができます。検証プロセスでは、製品が半導体産業での過酷な条件下での使用に適していることを確認しているため、お客さまのプロセスは常に保護されています。

取り付けトレーニング

クレンリネスを徹底するには、どうすればよいでしょうか。スウェージロックの取り付けトレーニングを活用してください。超高純度製造において、システム部品は連動して毒性や腐食性のある液体やガスを漏れなくシールし、幅広いオペレーション条件下でもシステムの完全性と純度を維持することが求められます。適切な取り付け方法に関するトレーニングを通じて、スウェージロック製品のパフォーマンスを最適化する方法を理解することで、製造目標を達成し、プロセスや人員の安全を確保することができます。

共に強く

指定販売会社を活用し、超高純度製造の強化にお役立てください。

適切な製品を選定する

世界各地のスウェージロック指定販売会社が窓口を一本化して、プロジェクトの調整を行います。必要な場所で必要な時に製品選定ツールを使用することで、業務に適した製品を選定することができます。

ダイナミックなプロセスには、常に入手可能な製品が欠かせません

スウェージロックは、カスタム在庫管理サービス、ならびにジャストインタイム納品を通じて、最適な在庫レベルを実現します。

グローバルでしかもローカル。

スウェージロックの供給力とサポートをご活用ください。スウェージロックは、世界各地に200カ所を超える指定販売会社を擁するグローバル・メーカーです。世界各地のお客さまに専門知識とサポートを迅速に提供します。

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